最大測量頻率: 11 MHz
分次諧波測量
雙頻同時測量
外部10 MHz同步輸入
LI5660 鎖相放大器
鎖相放大器是通過組合使用PSD和LPF的方式,來測量交流信號的振幅和相位的儀器。輸入交流的“參考信號", 并且只測量與其相同頻率的信號。盡管測量信號中摻雜了交流噪聲,還是可以通過去除噪聲且只測量目標頻率的信號。
DR是用來表現鎖相放大器性能的重要參數。鎖相放大器的降噪能力是由DR(動態范圍)規定的。NF的鎖相放大器DR規格在100 dB以上。換而言之,當1 Vp-p的噪聲信號重疊在10 µV的交流信號上時,也可以完成測量。從而知曉,鎖相放大器通常都具有好的降噪能力。
在一般的測試環境中,存在mV程度的電壓和µA程度的電流殘余噪聲信號。所以想要測量被背景的噪聲信號所覆蓋住的振幅信號,是十分困難的。但是鎖相放大器的降噪能力優秀,就算是極其微小的信號也可以測量。
以下是NF鎖相放大器測量信號的最小量程:
最小電壓范圍: 10 nV (LI5660 / LI5655 / LI5650 /LI5645)
最小電流范圍: 10 fA* (LI5660 / LI5655 / LI5650)
*"f"為femto = 10-15
能夠測量到測量信號和參考信號間的相位差。且相位測量的最小分辨率為0.001°。
可以測量2個信號之間的相位差,就意味著可以測量信號之間十分微小的時間差。
用于鎖相放大器中的PSD不但能夠測量到信號,還可以測量到噪聲。鎖相放大器的操作與BPF相同,通過設定BPF(帶通濾波器)的頻段來測量噪聲。
測量信號和參考信號在輸入后轉換成數字信號,PSD和LPF的處理也基本上是采用數字運算的。
數字運算有以下性能及功能上的優勢:
信號波形通過順序運算,縮短了低頻段的測量時間
通過減少信號處理端的直流失調,來減少輸出誤差
“時間常數"的最小設定值是非常短的。
LI5660/LI5655: 1 µs
LI5650/LI5645: 5 µs
十分適合需要用于高速圖像處理顯微鏡(如AFM)的信號處理。
時間常數設定
LI5660的最高頻率為11MHz。且LI5650以及LI5645的低頻率為1mHz。
LI5660: 0.5 Hz ~ 11 MHz
LI5655: 0.5 Hz ~ 3 MHz
LI5650/LI5645: 1 mHz ~ 250 kHz
在微赫茲級別的低頻段中,十分適合做DLTS等半導體物質的深層瞬態分析。
頻率設定
雙PSD可以在不調整相位的前提下,同時測量信號的振幅和相位。
一般的測量往往通過測量參考信號的頻率,雙頻率測量功能則是通過疊加參考信號頻率,再同時測量其他頻率。
雙頻率測量示例
分數諧波
Dual 1 檢測模式
諧波信號測量
基準樣品和對比樣品的差分測量
在“差分測量"模式下,使用通用鎖相放大器的話一般需要2臺,但如果使用具有雙頻率測量功能的鎖相放大器,只需要一臺即可完成測量。
輸出數據可以通過以下方式獲取并顯示。
正面板顯示 (可選擇數值或條形圖顯示)
模擬直流信號 (最多可4個系統同時輸出)
數字化數據 (USB, GPIB, 或 LAN界面)
通過增加時間常數設定, 鎖相放大器可以測量到摻雜了噪音的信號。增加時間常數會延長測量時間,并且僅使用鎖相放大器是無法將其縮短的。
但是,在鎖相放大器的前端連接其他的濾波器或前置放大器,可以改善輸入信號的信噪比,從而實現測量時間的縮短。
型號 | 品名 | 概 要 | 詳細 |
---|---|---|---|
LI 5660 | 寬頻數字鎖相放大器 | 5 Hz ~ 11 MHz, 雙相位,雙頻 | |
LI 5655 | 5 Hz ~ 3 MHz, 雙相位,雙頻 | ||
LI 5650 | 數字鎖相放大器 | 0.1 mHz to 250 kHz, 雙相位,雙頻 | |
LI 5645 | 0.1 mHz to 250 kHz, 雙相位,單頻 | ||
LI 5640 | 數字鎖相放大器 (多功能型) | 1 mHz ~ 100 kHz, 2 nV / F.S 相位穩定度: 0.01°/°C, 增益穩定度: ±100 ppm/°C 最小時間常數: 10 µs, 內置振蕩器 | 停止銷售的產品 |
LI 5630 | 數字鎖相放大器 (將LI 5640的功能濃縮、簡化了的經濟型) | ||
5610B | 2相位鎖相放大器 | 0.5 Hz ~ 200 kHz, 100 nV / F.S 2相位, 自動設定功能, 標準內置振蕩器 | |
LI-575 | 同步跟蹤鎖相放大器 | 0.5 Hz ~ 200 kHz, 100 nV / F.S 配備噪聲測量模式 | 停止銷售的產品 |
5571 | 微小信號測量儀頻率放大器 | 可將微小信號測量儀的 頻率增大到最高 5 MHz ?輸入頻率: 10 kHz ~ 5 MHz ?輸出頻率: 2 kHz / 20 kHz | 停止銷售的產品 |
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